Ki kondisyon pite ultra-wo gouvène tiyo gaz?
Semi F72 estanda pou fini sifas . outgassing<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1μm). Kontni imidite<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Kouman yo prepare soud distribisyon gaz?
Orbital soude ak ultra-segondè pite argon . doub-pase soude pou liy kritik . Electropolishing a 0 . 25μm ra . pasivasyon ak asid nitrik {{8}
Ki tès valide entegrite tiyo gaz la?
Tès fwit elyòm nan 1 × 10⁻⁹ ATM-CC/sec . Rezidyèl analiz gaz pou kontaminasyon . Konte patikil nan Purge gaz . analiz imidite pa lazè spèktroskopi .
Kouman yo kabinèt gaz ki konekte nan sistèm distribisyon?
VCR Face-Seal ekipman pou fwit-sere jwenti . Purge-purged segondè kontwòl . doub-ranpa byen genyen tib pou gaz ki gen danje ladan . baz pou kontwòl estatik {{7}
Ki sa ki antretyen anpeche kontaminasyon sistèm gaz?
Tès anyèl fwit nan tout koneksyon . Siveyans patikil pandan chanjman gaz . regilye Purge Gaz Kalite Verifikasyon . Valv Anbalaj Antretyen . Strik Chanjman Kontwòl Pwosedi .
